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 电子工业生产中真空泵的选择

目前在我国电子工业生产中,常用的真空泵的基本类型主要是机械泵和油扩散泵(有时加冷凝)。现仅就这两种类型真空泵(金属的)的选择问题简介如下。

机械泵工作基本原理是利用转子,将机械泵的工作空间周期性的压缩和膨胀,从而排出容器中的气体(经导管流入机械泵中的)

机械泵按结构特征可分为旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、多片式直空泵和双转子真空泵(罗茨泵)等。

目前在我国电子工业生产中,应用较多的是旋片式真空泵。机械泵工作性能的好坏,受很多因素的影响,如结构形状、加工精度、机械泵油的性能、工作环境、被抽气体种类和机件磨损情况等。日前虽然有人在理论上从泵的有害空间、气密性、极限压强、抽气速率和寿命等方面分析后,认为滑阀式最好,定片式次之、转片式较差,但是尚未提供有力的证据。

机械真空泵目前一般已能达到5*10^-3~5*10^-4 毫米水银柱左右,再高的真空度要求,单单靠一个机械泵是满足不了的,还必须采用扩散泵(当真空度要求达10^-6~10^-7毫米水银往以上时,还需加用其他真空获得的部件)来继续完成机械泵所不能达到的真空度。

 

真空泵系统在电真空工业中的应用

由于各种电真空器件的工作原理是基于电场、磁场来控制电子在空间的运动借以到达放大、振荡、显现图象等目的。因而真空泵系统能防止电子与气体分子间的碰撞,保证电子在空间的运动规律,避免发射热电子的阴极氧化中毒,把电子器件内抽成不同电真空器件所请求的不同真空度、保证电子器件的正常工作。

目前电真空工业中所消费的电真空器件主要有各种电子管 ( 整流管、发射管、收信管、速调管、行波管、磁控管、光电管等 ) ;各种离子管 ( 泵弧整流管、引燃管、计数管、闸流管、噪音管、雷达电线开关等 ) ;各种电子束管 ( 示波管、摄象管、显象管、 x 光管、变象管等 ) ;各种电光源管 ( 照明灯,光谱灯、仪器用灯等 ) 以及中子管、电子衍射仪、电子显微镜、 x 光显微镜,各种粒子加速器、质谱仪、核辐射谱仪、气体激光器以及应用真空中电子束停止除气、熔炼、区域提纯、难熔金属和介质的凝结和钻孔,开槽切割、放射性同位素的蒸发,难熔金属的焊接等许多方面。这些电子器件及工艺,在近代科学和近代大工业消费中所起的作用是显而易见的。

 

    真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支,在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。各种范围的继承电路。包括存贮器、运算器、通知逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和维护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器,约瑟夫逊器件、电荷耦合器件( CCD )也都甬道各种薄膜。在显现器件方面,录象磁头、高密度录象带以及平面显现安装的透明导电膜、摄像管光导膜、显现管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面,在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷能够制造电阻,在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等能够制造电容器,蒸发硒能够得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡能够制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还能够用于制造超导膜和惯性约束剧变反响用的微珠镀层。